In der Halbleiterfertigung eingesetzte Gase müssen zum Schutz der Produktqualität eine festgelegte Reinheit einhalten. Durch die präzise Überwachung von Spurenverunreinigungen während des Produktionsprozesses wird sichergestellt, dass die erforderliche Qualität erreicht wird.
Hersteller erwarten eine garantierte Reinheit von den verwendeten Reingasen. Es müssen schnelle, genaue und zuverlässige Analysen des Gases durchgeführt werden, um sicherzustellen, dass Verunreinigungen sich innerhalb der festgelegten, extrem niedrigen Grenzwerte bewegen.
Zu den zahlreichen Spurenverunreinigungen, die gemessen werden müssen, gehören Feuchtigkeit, Sauerstoff, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und Kohlenwasserstoffe. Insbesondere bei der Gastrennung wird eine spezielle Überwachung von Feuchtigkeit und Sauerstoff benötigt, um die Produktqualität sicherzustellen.
Wir bieten Analyselösungen zur Kontrolle von Feuchtigkeit und Sauerstoff an, welche bewährte Technologien für kontinuierliche, zuverlässige und präzise Messungen einsetzen.